VPSA制氧机就是变压吸附制氧机，是一种很常用的制氧的工艺。
在过去15年里,选用变压吸附生产氧气已经变得越来越重要。这是因为变压吸附生产氧气的能耗和投资在不断降低,同时也是因为在玻璃生产、漂白和污水处理等领域新用途的不断扩展而造成的。早期的PSA装置全部在大气压力以上运转,单位能耗高达1kWh/m3。现代在真空下再生的装置称为VPSA，也就是真空变压吸附制氧，在生产纯度为93%的氧时,单位能耗可小于0.14kWh/m3。与此同时,由于装置生产能力的增大,投资费用也有了明显的降低。这是由于沸石吸附剂的改进以及工艺过程的优化得到的。有一些行业内的专业人士写的评论文章都总结了在这些领域的发展，先进的工程设计和标准化，更进一步降低了VPSA装置生产氧气的总成本。变压吸附过程就是在高于大气压的压力下吸附,在常压下解吸。
VPSA是一种新型的节能的制氧方式，和PSA制氧相似，都适用于对氧气纯度要求在93%左右的中型或中小型企业，是这些企业的首选。
