一.制氧能耗低和运行成本低
制氧工艺中，电耗大概占运行成本的90%以上，随着变压吸附制氧技术的不断优化，其纯氧电耗已经从20世纪90年代的0.45kw·h/3，下降到了如今的0.32kw·h/m3以下，即使较大规模深冷制氧的纯氧电耗最低也在0.42kw·h/m3左右。与深冷制氧技术相比，在企业没有氮气需求，用氧工序对氧气纯度及压力要求不高的工况下，变压吸附制氧技术具有明显的成本优势。
二.工艺简单、操作灵活和开停车方便
变压吸附制氧与深冷制氧技术相比，工艺比较简单，操作压力在-0.05~0.05MPa，主要动力设备为罗茨鼓风机和罗茨真空泵，操作相对简单、容易维护。由于变压吸附制氧设备开停车不存在降温和升温过程，原始开车只需要30min则可产出合格氧气，短时间停车则几分钟便可产氧，而装置停车则更加简单，只需要把动力设备和控制程序关停，相比深冷制氧，变压吸附制氧技术开停车更加方便大幅度降低了装置开停车产生的操作费用。
三.投资省和建设工期短
变压吸附制氧装置工艺流程简单，主要由动力系统、吸附系统和阀门切换系统等组成，设备数量较少，可以节省设备的一次性投资成本;同时装置占地面积小，还可以减少装置土建成本和建设用地的成本。并且设备加工制造周期较短，主要设备加工周期一般不超过4个月，正常情况下6个月内即可实现产氧要求，相比深冷制氧接近1年的建设周期，大幅度地降低了装置的建设时间。
四.设备简单和维修方便
变压吸附制氧技术采用的设备如鼓风机、真空泵和程控阀门等全部可实现国产化，备品、备件更换易，可降低成本和工期容易控制，而且设备维修简单、售后方便，相比深冷制氧所用的大型离心压缩机的维护，变压吸附制氧用户不需要投入大量维护资金和聘用专业维护工人。
五.负荷调节方便
相比深冷液氧技术，变压吸附制氧在纯氧电耗变化不大的情况下，可以实现产量和纯度的快速调节。一般产量可在30%~100%调节，纯度可在70%~95%调节，尤其当几套变压吸附制氧装置并联使用时，负荷调节更加容易。
六.操作安全性高
由于变压吸附制氧为常温下的低压操作，而且不会出现液氧、乙炔富集等现象，相对于深冷制氧低温高压操作，安全性更高。
